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扫描探针显微镜是原子力显微镜AFM,横向力显微镜LFM,磁力显微镜MFM等的统称,是国际上近年发展起来的表面分析仪器,是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。扫描探针显微镜将在诸多研究领域中得到越来越广泛的应用。
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